Այս գործիքը ընդունում է ոչ կոնտակտային, օպտիկական փուլափոխվող ինտերֆերոմետրիկ չափման մեթոդը, չափման ընթացքում չի վնասում աշխատանքային մասի մակերեսը, կարող է արագ չափել տարբեր աշխատանքային մասերի մակերեսային միկրոտոպոգրաֆիայի եռաչափ գրաֆիկան և վերլուծել և հաշվարկել չափումը։ արդյունքները։
Ապրանքի նկարագրությունը
Առանձնահատկություններ. Հարմար է տարբեր չափիչ բլոկների և օպտիկական մասերի մակերեսի կոշտությունը չափելու համար; քանոնի ցանցի և թվաչափի խորությունը; վանդակաճաղի ակոսի կառուցվածքի ծածկույթի հաստությունը և ծածկույթի սահմանի կառուցվածքի մորֆոլոգիան. մագնիսական (օպտիկական) սկավառակի մակերեսը և մագնիսական գլուխը Կառուցվածքի չափում; սիլիկոնային վաֆլի մակերեսի կոշտության և նախշի կառուցվածքի չափում և այլն:
Գործիքի չափման բարձր ճշգրտության շնորհիվ այն ունի ոչ կոնտակտային և եռաչափ չափման բնութագրեր և ընդունում է համակարգչային հսկողություն և չափումների արդյունքների արագ վերլուծություն և հաշվարկ: Այս գործիքը հարմար է բոլոր մակարդակների թեստավորման և չափման հետազոտական միավորների, արդյունաբերական և հանքարդյունաբերական ձեռնարկությունների չափման սենյակների, ճշգրիտ մշակման սեմինարների համար, ինչպես նաև հարմար է բարձրագույն ուսումնական հաստատությունների և գիտահետազոտական հաստատությունների և այլնի համար:
Հիմնական տեխնիկական պարամետրերը
Մակերեւույթի մանրադիտակային անհավասարության խորության չափում
Շարունակական մակերևույթի վրա, երբ երկու հարակից պիքսելների միջև ալիքի երկարության 1/4-ից ավելի բարձրության կտրուկ փոփոխություն չկա՝ 1000-1 նմ
Երբ երկու հարակից պիքսելների միջև կա ալիքի երկարության 1/4-ից ավելի բարձրության մուտացիա՝ 130-1 նմ
Չափման կրկնելիությունը՝ δRa ≤0.5nm
Օբյեկտիվ ոսպնյակի խոշորացում՝ 40X
Թվային բացվածք՝ Φ 65
Աշխատանքային հեռավորությունը՝ 0,5 մմ
Գործիքի տեսադաշտը Տեսողական՝ Φ0.25 մմ
Լուսանկարը՝ 0,13×0,13 մմ
Գործիքների խոշորացում Տեսողական՝ 500×
Լուսանկար (դիտված համակարգչի էկրանով)-2500×
Ընդունիչի չափման զանգված՝ 1000X1000
Պիկսելի չափսը՝ 5,2×5,2 մկմ
Չափման ժամանակի նմուշառման (սկանավորման) ժամանակը` 1S
Գործիքի ստանդարտ հայելային անդրադարձում (բարձր): ~50%
Արտացոլում (ցածր): ~4%
Լուսավորման աղբյուր՝ շիկացած լամպ 6V 5W
Կանաչ միջամտության ֆիլտրի ալիքի երկարությունը՝ λ≒530nm
Կես լայնությունը λ≒10նմ
Հիմնական մանրադիտակի բարձրացում՝ 110 մմ
Սեղանի բարձրացում՝ 5 մմ
Շարժման միջակայքը X և Y ուղղությամբ՝ ~10 մմ
Աշխատանքային սեղանի պտտվող միջակայքը՝ 360°
Աշխատանքային սեղանի թեքության միջակայքը՝ ±6°
Համակարգչային համակարգ՝ P4, 2.8G կամ ավելի, 17 դյույմանոց հարթ էկրանով էկրան 1G կամ ավելի հիշողությամբ